
電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動,傾斜測量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運(yùn)動。
主要技術(shù)指標(biāo):
靈敏度(20±5℃)  | 1000 mV/g  | 
測量范圍(峰值)  | ±1 g  | 
大橫向靈敏度  | ≤5 %  | 
頻率響應(yīng)(-3dB)  | 0~ 800 Hz  | 
非線性  | ≤0.5%  | 
工作溫度范圍  | -40~+120 ℃  | 
溫度響應(yīng)  | 見溫度曲線  | 
沖擊極限(無供電)  | 5000 g  | 
靈敏度溫度系數(shù)  | 0.3 %/℃  | 
噪聲  | <45 ug/√Hz  | 
輸出阻抗  | <100 Ω  | 
供電電源  | +6~+16 VDC  | 
工作電流  | ≤5 mA  | 
零g偏置電壓  | 2.5±0.1 V  | 
安裝  | 4-φ2.8孔  | 
殼體材料  | 不銹鋼  | 
重量  | 20 g  | 
輸出方式  | 整體三芯屏蔽電纜線 紅線:正電源;白線:地;綠線:輸出  | 
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